真空泵機組是由不同類型的前級泵（水環式真空泵、旋片式真空泵、羅茨真空泵等）和其他泵串聯而成的設備，有較高的工作效率，而且使得其可以適應更多的工作環境以及場合，這根不同泵在使用時不同的工作原理也是有很大關系的。

真空泵機組的工作原理我們要從不同的前級泵來了解：

1、羅茨真空泵工作原理

羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉子的不斷旋轉，被抽氣體從進氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間v0內，再經排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態，所以，在泵腔內氣體沒有壓縮和膨脹。但當轉子頂部轉過排氣口邊緣，v0空間與排氣側相通時，由于排氣側氣體壓強較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強突然增高。當轉子繼續轉動時，氣體排出泵外。

2、旋片式真空泵工作原理

旋片式真空泵（簡稱旋片泵）是一種油封式機械真空泵。其工作壓強范圍為101325~1.33&times；10-2（pa）屬于低真空泵。它可以單獨使用，也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級泵。它已廣泛地應用于冶金、機械、軍工、電子、化工、輕工、石油及醫藥等生產和科研部門。

3、水環式真空泵工作原理

水環式真空泵葉片的葉輪偏心地裝在圓柱形泵殼內。泵內注入一定量的水。葉輪旋轉時，將水甩至泵殼形成一個水環，環的內表面與葉輪輪轂相切。由于泵殼與葉輪不同心，右半輪轂與水環間的進氣空間4逐漸擴大，從而形成真空，使氣體經進氣管進入泵內進氣空間。隨后氣體進入左半部，由于轂環之間容積被逐漸壓縮而增高了壓強，于是氣體經排氣空間及排氣管被排至泵外。

對真空泵機組工作原理的了解和認識，可以使用戶在使用機組時更得心應手，同時對設備的正確使用以及維護保養等工作也都有很大的幫助作用。

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