注：表中所列極限壓力為該泵單獨使用直排大氣時的極限壓力值，配用前級泵時的極限壓力與ZJ系列羅茨真空泵相同，可參照相應的羅茨真空機組的極限壓力值。

產品特點：
■ 可單獨使用，直排大氣的工作真空度可以達到160mbar。
■ 泵內運轉件無摩擦，不必潤滑，泵腔內無油，可獲得清潔真空。
■三葉漸開線型線結構和高精度機械加工確保產品運轉平穩安靜。
■抽氣性能、噪聲、振動等主要性能比傳統二葉泵更有顯著提高。
■ 泵腔內氣體垂直流動，有利于被抽氣體中的灰塵與冷凝物的排除。
■ 完全對稱且精密動平衡的轉子運轉平穩，可靠。
■ 振動、噪音小--高精度動平衡技術、專業制造的高精度齒輪、德國FAG軸承。
■ 杜絕漏油和乳化--軸伸機械密封、隔腔復合式密封結構設計的運用。
■ 可與羅茨真空泵等組成羅茨氣冷真空機組，獲得更高真空度。